spellman電源維修DF60N3X4181高壓發生器維修

spellman電源維修DF60N3X4181高壓發生器維修

spellman電源維修高壓發生器維修DF60N3X4181 73178-1-A00051 NY11788

spellman電源常見故障及維修：

故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；

故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮:；

故障現象5：無功率輸出；

故障現象6：有功率輸出，但是調不大，或是調不到正常值。

故障現象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞；

大功率射頻RF電源維修，太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC。

Spellman SL系列高壓電源維修型號包括：SL1PN10、SL2PN10、SL6PN10、SL8PN10、SL1PN30、SL2PN30、SLPN30SL6PN30、SL8PN30、SL1PN60、SL2PN60、SL6PN60、SL8PN60。