| 規 格:DF60N3X4181 |
型 號:DF60N3X4181 |
數 量:11 |
| 品 牌:spellman電源維修 |
包 裝:Spellman高壓發生器維修 |
價 格:面議 |
spellman電源維修DF60N3X4181高壓發生器維修 spellman電源維修高壓發生器維修DF60N3X4181 73178-1-A00051 NY11788 spellman電源常見故障及維修: 故障現象1:打開電源,電源指示燈不亮; 故障現象2:電源燈亮了,預熱燈不亮; 故障現象3:電源燈亮了,預熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率,電源的功率指示和電流指示不正常。(正常的功 率指針指到220,電流指示0.4) 故障現象4:電源燈亮了,預熱燈亮,輝光不亮:; 故障現象5:無功率輸出; 故障現象6:有功率輸出,但是調不大,或是調不到正常值。 故障現象7:無反射功率,或反射功率過大,射頻功率源壞; 大功率射頻RF電源維修,太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP的設備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC。 Spellman SL系列高壓電源維修型號包括:SL1PN10、SL2PN10、SL6PN10、SL8PN10、SL1PN30、SL2PN30、SLPN30SL6PN30、SL8PN30、SL1PN60、SL2PN60、SL6PN60、SL8PN60。
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