電鏡附件及外設TEM cube樣品桿清潔儲存站

TEM cube樣品桿清潔儲存站提供高真空環境下的TEM樣品桿儲存、泄漏檢查和等離子清潔功能，適用于多種品牌TEM樣品桿。該系統包括8個樣品桿適配器、等離子源和真空泵，確保樣品和樣品桿清潔。另有單獨的TEM樣品桿真空儲存站，能存放多達6個樣品桿，并支持獨立抽放操作，有助于樣品桿放氣和去潮，保持清潔狀態。兩種設備均具備獨立維護和多系統共享真空泵的靈活性。

電鏡附件及外設TEM cube樣品桿清潔儲存站

(TEM&SEM樣品及樣品桿清潔貯存解決方案)

(一)TEM cube高真空TEM樣品桿儲存、泄漏檢查和等離子清潔腔室

TEM cube帶有8個樣品桿適配器(適配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM樣品桿，多 8 個，每側 4 個)，并配等離子源和真空泵工作站，渦輪分子泵版本的極限真空在 10-7Torr 量級（亦可選干式渦旋泵抽真空），腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸；腔室門：帶鎖定旋鈕的鉸鏈玻璃門。主要應用：用于 TEM 樣品桿、TEM 樣品和大型 EM 組件的高真空存儲；原位TEM樣品桿和芯片泄漏檢查；TEM樣品桿、樣品和組件的等離子清潔。注：EM-KLEEN遠程等離子源采用室內空氣、氧氣或氫氣作為處理氣體產生氧或氫自由基，用于SEM&TEM樣品清潔；EM-KLEEN等離子源也可被取出并安裝在SEM、FIB和XPS系統上，用于真空腔室清潔。

(一)TEM樣品桿真空儲存站

TEM樣品桿真空泵站可在真空條件下存放多6個TEM樣品桿(適配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM樣品桿)，幫助樣品和樣品桿放氣，去除水氣凝結，保持樣品和樣品桿的清潔。也可用于樣品桿的檢漏。

● 每臺設備含6個存儲單元

● 每個存儲單元都可以通過電磁閥進行獨立的抽放。當取出其中一個樣品桿時，其余的單元仍可保持在真空狀態下

● 多個存儲系統可共享一個真空泵，也可與Tergeo-EM系統共用一個真空泵

● 可選無油干式渦旋泵或渦輪泵站

● 真空泵與儲存站分開，必要時易于維護和維修

● 真空管路全金屬管設計，可大限度地減少排氣，從而減少污染

● 略高于室溫的穩定的操作溫度設計，有利于樣品桿更快放氣