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基于原子力顯微鏡的納米結構中納米間隙的精密測量方法 |
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| 一種基于原子力顯微鏡的納米結構中納米間隙的精密測量方法，掃描測量被測樣品上表面中心區域，將針尖定位于被測樣品的中心；利用原子力顯微鏡探針進行垂直力的加載／卸載，直至被測樣品的下表面與襯底發生接觸；加載／卸載過程中實時記錄原子力顯微鏡的力曲線，獲得被測樣品下表面與襯底之間的納米間隙。具體是：標定原子力顯微鏡微懸臂梁的靈敏度；將原子力顯微鏡的針尖定位于被測樣品上表面的幾何中心；得到一致力曲線和轉折力曲線；比較靈敏度力曲線、一致力曲線和轉折力曲線三者斜率關系；提取被測樣品下表面與襯底的距離。本發明測量中不需要破壞待測納米器件的結構，可消除待測點不在被測樣品表面中心所帶來的測量誤差，實現了納米結構中納米間隙的高分辨率測量。 |
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基于原子力顯微鏡的納米結構中納米間隙的精密測量方法
一種基于原子力顯微鏡的納米結構中納米間隙的精密測量方法，其特征在于，首先通過掃描測量被測樣品上表面中心區域，將針尖定位于被測樣品的中心作為待測點；然后利用原子力顯微鏡探針進行垂直力的加載／卸載，直至被測樣品的下表面與襯底發生接觸，即力曲線中出現轉折；在加載／卸載過程中實時記錄原子力顯微鏡的力曲線，獲得被測樣品下表面與襯底之間的納米間隙。
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| 專利號: |
200810053708 |
| 申請日: |
2008年6月30日 |
| 公開/公告日: |
2008年11月12日 |
| 授權公告日: |
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| 申請人/專利權人: |
天津大學 |
| 國家/省市: |
天津(12) |
| 郵編: |
300072 |
| 發明/設計人: |
栗大超、徐臨燕、傅星、胡小唐 |
| 代理人: |
江鎮華 |
| 專利代理機構: |
天津大學專利代理事務所(12201) |
| 專利代理機構地址: |
天津市南開區衛津路92號天津大學19樓(300072) |
| 專利類型: |
發明 |
| 公開號: |
101303221 |
| 公告日: |
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| 授權日: |
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| 公告號: |
000000000 |
| 優先權: |
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| 審批歷史: |
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| 附圖數: |
2 |
| 頁數: |
4 |
| 權利要求項數: |
2 |
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